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    生產設備

    氣體質量流量傳感器校準系統

    文字:[大][中][小] 手機頁面二維碼 2017/6/2     瀏覽次數:    

    a)產品概述
    質量流量傳感器校準系統適用于生產線上的終檢校準,通過對小量程質量流量傳感器的通訊功能測試及不同溫度下的校準,確保產品精度及質量。校準流程及算法可由用戶自定義配置,豐富的登錄模式及權限級別設定,自動生成測試日志等,確保操作靈活且便于擴展。
    b)應用專利技術
    本系統中以下技術正在申請實用新型或發明專利:
    《批量傳感器固定可識別裝置》
    《無繞線針床夾具》
    《高密封閥組》
    《一種多氣路連接器裝置》
    c)系統功能

    主要功能

    描 述

    用戶管理

    管理用戶登錄及操作權限,按權限高低分為管理員、工程師、技術員、線長和操作員,管理員具有最高權限,可以添加、刪除和修改用戶信息;

    工單操作

    用于創建不同溫度下的工單任務,只有當前存在的工單被終止或完成時,才能創建下一個工單;

    參數配置

    用于工程師對校準或測試參數進行配置;

    模式選擇

    提供生產模式、工程師模式以及校驗模式共三種工作模式;

    錯誤日志瀏覽

    為用戶提供按時間查詢的錯誤日志瀏覽;

    數據存儲

    自動存儲測試過程數據。

    d)特性詳解
    兼容多種信號輸出類型的傳感器——

    信號類型

    輸出方式

    模擬量

    電壓信號

    數字量

    IIC通訊信號

    SPI通訊信號

    PWM脈沖信號

    溫度可控范圍寬,穩定性優異——可實現-20℃~100℃范圍內不同溫度點的精確控制,溫度控制精度為 1℃,目標溫度下的溫度波動度為 0.2℃;
    良好的氣路密封性——采用鋼質氣管,采用少接頭設計,確保系統密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進行5次(用不同顏色的曲線代表)泄漏測試時的泄漏率。(單位為sccm/s,測試壓力為2.5psi,保壓時間 20s,每個傳感器夾具包含4條氣路)

    高測試校準精度——氣體流量控制精度達 1sccm,溫度控制精度 1℃。
    高測試效率——系統可同時對32個被測件進行操作,8路總線并行的設計方法和溫度的快速穩定為Cycle Time節約了大量時間,達到160 DUTs/h,滿足生產線節拍的要求。
    測試校準穩定可靠——GRR實驗數據良好。圖示為校準200sccm量程的傳感器時不同流量點下(50/100/160/200sccm)的GRR數據,均<10%。

    便于維護——設計了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點獲取信號,損壞時更該模塊即可;氣路裝拆方便;繼電器狀態通過指示燈顯示,指示直觀。
    完善的安全機制——智能流程判斷;提供急停等安全操作機制,在系統出現突發狀況時對人及設備形成保護。
    e)運行環境及系統指標

    項目

    描述

    系統指標

    流量范圍

    0~1000sccm/0~200sccm可選

    節拍

    160件/小時,32件并行測試

    物理尺寸 
    (W D H)

    溫控箱外形尺寸:2300 1430 1960mm

    熱流機外形尺寸: 610 991 1303mm(Max.) 
    (熱流機與溫控箱距離不超過2m)

    運行環境

    運行環境

    溫度:0~50℃;濕度:35%~80%;

    供電要求

    AC 220V,50Hz

    校準平臺、熱流機供電

    AC 380V,50Hz

    溫控箱供電

    供氣要求

    2.0bar

    校準供氣,干燥、純凈的氮氣

    5.0bar

    氣缸供氣,干燥的壓縮空氣

    90~100psi

    熱流機供氣,干燥的壓縮空氣


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